潔凈度等級:根據空氣中顆粒物的數量和大小來劃分,常見的有ISO 1-9級,以及中國的萬級、十萬級、百萬級等標準。這些等級反映了潔凈室內空氣的潔凈程度。 換氣次數:單位時間內潔凈室內空氣的更換次數。不同潔凈度等級的房間有不同的換氣次數要求,例如十萬級潔凈室為10-15次/小時,萬級潔凈室為15-25次/小時,千級潔凈室為50-52次/小時等。 溫濕度:潔凈室內的溫度和濕度需要控制在一定范圍內,以保證生產過程的穩定性和產品質量。通常,溫度控制在冬季>16℃±2℃,夏季<26℃±2℃,而濕度控制在45-65%(RH)之間。 壓差:潔凈室與其相鄰房間之間需要保持一定的壓差,以防止外界空氣未經處理就進入潔凈室。主車間對相鄰房間的壓差應≥5Pa。 噪聲:潔凈室內的噪聲應控制在一定范圍內,以保證人員的舒適度和避免對生產過程造成干擾。噪聲通常要求≤65dB(A)或更低。 照度:潔凈室內的照度應滿足生產和操作的需求。照度要求通常≥300Lux,但在一些特殊區域,如工作臺、檢查臺等,照度可能要求更高。 空氣流速與氣流分布:潔凈室內的空氣流速和氣流分布對維持潔凈度至關重要。通過合理設計送風口、回風口和氣流組織方式,可以實現均勻的氣流分布和適當的空氣流速。 靜電控制:在微電子等行業中,靜電可能對產品質量造成嚴重影響。因此,潔凈室需要采取適當的靜電控制措施,如使用抗靜電材料、設置靜電消除器等。
潔凈室,也被稱為無塵室或清凈室,是一個密閉性較好的空間,其內部空氣潔凈度、溫度、濕度、壓力、噪聲等參數都根據需要進行嚴格控制。這種空間主要用于需要高潔凈度環境的行業,如精密機械工業(如陀螺儀、微型軸承等加工)、半導體工業(如大規模集成電路生產)、宇航、原子能等。