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潔凈車間氣密性檢測方法

2021-11-24 閱讀 43119

潔凈車間竣工后,需要對潔凈車間進行多種檢測和測試項目,目的是檢查和了解清潔車間的各項指標是否合格。

1.壓力衰減:使潔凈車間達到一定壓力(正壓或負壓),然后關閉供壓或負壓系統,仔細觀察壓力隨時間慢慢減少,然后記錄壓力減少到開始壓力的二分之一時間,即測量潔凈車間(室)正壓或負壓的半衰期。

2.恒壓法:在潔凈車間內達到某個正壓的同時,在潔凈車間內補充氣體,使室壓達到要求的穩定值而不減低時的補充氣體量是泄漏量。在潔凈車間內達到某個負壓,使室壓維持要求的穩定值,不減低時的抽氣量是泄漏量。

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